skaningowy mikroskop elektronowy (sem), rodzaj mikroskopu elektronowego, przeznaczony do bezpośredniego badania powierzchni obiektów stałych, który wykorzystuje wiązkę skupionych elektronów o stosunkowo niskiej energii jako sondę elektronową, która jest skanowana w sposób regularny nad próbką. Źródło elektronów i soczewki elektromagnetyczne, które generują i skupiają wiązkę, są podobne do tych opisanych dla transmisyjnego mikroskopu elektronowego (tem)., The action of the electron beam stimulates emission of high-energy backscattered electrons and low-energy secondary electrons from the surface of the specimen.
© David Gregory& Debbie Marshall, Wellcome Images / Wellcome Library, Londyn (CC BY 4.,0)
kaningowego mikroskopu elektronowego w wykrywaniu źródła pozostałości po broni
© Open University (a Britannica Publishing Partner)Zobacz wszystkie filmy do tego artykułu
do badania w SEM nie są wymagane zaawansowane techniki przygotowania próbek, a duże i nieporęczne próbki mogą być zakwaterowane. Pożądane jest, aby próbka była przewodząca elektrycznie; w przeciwnym razie nie zostanie uzyskany ostry obraz., Przewodność jest zwykle osiągana przez odparowanie filmu metalu, takiego jak złoto, 50-100 kątów grubości na próbkę w próżni (taka grubość nie ma istotnego wpływu na rozdzielczość szczegółów powierzchni). Jeśli jednak SEM może pracować z mocą 1-3 kilowoltów energii, nawet próbki nieprzewodzące mogą być badane bez potrzeby stosowania powłoki metalicznej.,
urządzenia skanujące zostały połączone z tem w celu stworzenia skaningowych mikroskopów elektronowych transmisyjnych., Mają one tę zaletę, że bardzo grube sekcje mogą być badane bez ograniczeń aberracji chromatycznej, a metody elektroniczne mogą być stosowane w celu zwiększenia kontrastu i jasności obrazu.